| 发明名称 | 光阻剥离剂组成物 | ||
| 摘要 | 一种光阻剥离剂组成物，包含按重量计0.5-5％的烷基氢氧化铵、按重量计60-90％的非质子性极性溶剂、按重量计0.1-3％的芳香族多羟基醇、按重量计0.1-5％的线性多羟基醇、以及按重量计5-30％的水；该光阻剥离剂组成物具有优异的剥离正型及负型光阻剂的能力，且不会腐蚀在该光阻剂下面的金属布线。 | ||
| 申请公布号 | CN102893218A | 申请公布日期 | 2013.01.23 |
| 申请号 | CN201180023169.3 | 申请日期 | 2011.05.12 |
| 申请人 | 易安爱富科技有限公司 | 发明人 | 朴永真;韩斗锡;李相大;申孝燮 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人 | 蔡晓红 |
| 主权项 | 一种光阻剥离剂组成物，其特征在于，包含：按重量计0.5‑5%的烷基氢氧化铵；按重量计60‑90%的非质子性极性溶剂；按重量计0.1‑3%的芳香族多羟基醇；按重量计0.1‑5%的线性多羟基醇；以及按重量计5‑30%的水。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||