发明名称 |
基于SiC衬底的石墨烯CVD直接外延生长方法及制造的器件 |
摘要 |
本发明公开了一种基于SiC衬底的石墨烯CVD直接外延生长方法,采用半导体SiC作为衬底,通过对SiC衬底进行合理的预处理,调节生长压力,流量以及温度,在SiC上面直接生长石墨烯,无需金属作为催化剂,生长的石墨烯无需转移过程,便可以直接用于制造各种器件,提高了器件的电学特性,可靠性,降低了器件制造的复杂性。可以生长出具有半导体洁净度的大面积石墨烯材料,可用于无需转移的大面积石墨烯材料的生长制备,并为碳化硅-石墨烯器件的制造提供材料。 |
申请公布号 |
CN102891074A |
申请公布日期 |
2013.01.23 |
申请号 |
CN201210408187.X |
申请日期 |
2012.10.22 |
申请人 |
西安电子科技大学 |
发明人 |
王东;宁静;韩砀;闫景东;柴正;张进成;郝跃 |
分类号 |
H01L21/04(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/04(2006.01)I |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
一种基于SiC衬底的石墨烯CVD直接外延生长方法,其特征在于,采用半导体SiC作为衬底,通过对SiC衬底进行合理的预处理,调节生长压力,流量以及温度,在SiC上面直接生长石墨烯,无需金属作为催化剂,生长的石墨烯直接用于制造各种器件。 |
地址 |
710065 陕西省西安市雁塔区太白南路2号 |