多晶硅铸锭炉排杂结构及多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉及多晶硅铸锭炉排杂结构，该多晶硅铸锭炉的炉体内设有热场保温层，在热场保温层的顶部保温层和/或侧部保温层设有至少一用于排除杂质气体的排气孔。本实用新型通过在热场的顶部保温层和/或侧部保温层各设置至少一个排气孔，通过该排气孔，使热场腔室内的杂质气体在未与硅发生反应时及时排出，降低所生成杂质对多晶硅锭的污染，提高产品质量；此外，还有助于让杂质气体排出铸锭炉腔室外，有效减少所生成的杂质对炉壁的污染，延长炉腔清理周期，减少清理次数，提高多晶硅铸锭炉的产能。

主权项

一种多晶硅铸锭炉排杂结构，所述多晶硅铸锭炉的炉体内设有热场保温层，其特征在于，所述热场保温层的顶部保温层和/或侧面保温层设有至少一用于排除杂质气体的排气孔。