| 发明名称 | 五轴平镜干涉仪 | ||
| 摘要 | 一种五轴平镜干涉仪，构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次为五轴分光系统和干涉模块。所述的五轴分光系统由4个45o平面分光镜、3个45o全反镜和1个光程补偿全透镜组成。本发明具有元件易加工、非线性误差小、各路光束温漂一致以及光路调节方便等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN102889854A | 申请公布日期 | 2013.01.23 |
| 申请号 | CN201210394425.6 | 申请日期 | 2012.10.17 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 程兆谷;陈建芳;程亚;黄惠杰;池峰 |
| 分类号 | G01B9/02(2006.01)I | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 一种五轴平镜干涉仪，特征在于其构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次有五轴分光系统和干涉模块。 | ||
| 地址 | 201800 上海市嘉定区800－211邮政信箱 | ||