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发明名称 Extended lifetime excimer laser optics
摘要
申请公布号 EP1739801(B1) 申请公布日期 2013.01.23
申请号 EP20060013421 申请日期 2006.06.29
申请人 CORNING INCORPORATED 发明人 CLAR, COLLEEN R.;DEJNEKA, MATTHEW J.;MAIER, ROBERT L.;WANG, JUE
分类号 G03F7/20;G02B1/10;H01S3/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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