| 摘要 |
本发明提供一种涂覆装置及涂覆方法，其在能够以良好精密度将液体涂覆在涂覆区域者。在使遮罩4位于试涂位置的状态下，使喷嘴于X方向来回移动，同时向遮罩4吐出有机EL材料以将涂覆轨迹CL形成在遮罩4之内周面上。然后，以CCO摄像机拍摄该涂覆轨迹CL之光学像ICL，将显示其涂覆轨迹CL的图像资料暂时储存在控制部之记忆体。又，在使遮罩4位于涂覆位置的状态下，以CCD摄像机拍摄基板1之槽11的光学像I11，将显示其槽11的图像资料暂时储存在控制部之记忆体。然后，根据该等之图像资料使涂覆轨迹CL及槽11一致，而定位基板1。接着实行涂覆处理。 |
