电浆处理装置及电浆处理方法

摘要

本发明系提供一种电浆处理装置及电浆处理方法。该电浆处理装置系至少包含：处理室，其系用于对被处理体进行电浆处理者；气体供给手段，其系用于对该处理室供应气体者；及高频供给手段，其系用于使该气体电浆化者；又，前述气体供给手段系至少具有一条气体导入管，且该气体导入管之在该处理室内的前端系配置于，可进行良好气体解离控制之该处理室内的位置上；此外，本发明可提升气体的均一性；而该气体系被提供给电浆处理室内者。