发明名称
摘要
申请公布号 JP5126845(B2) 申请公布日期 2013.01.23
申请号 JP20080225702 申请日期 2008.09.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/20;H01L21/22;H01L21/268 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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