发明名称 一种太阳能电池硅片清洗液及其使用方法
摘要 本发明属于半导体制造工艺中的硅片清洗技术领域,具体提供了一种太阳能电池硅片清洗液及使用方法。该太阳能电池硅片清洗液由硝酸、氢氟酸及去离子水混合配置而成;使得清洗液中硝酸的质量百分浓度为40%~60%,氢氟酸的质量百分浓度为0.025%~0.08%,余量为去离子水。该硅片清洗液的使用方法是:先用去离子水浸泡清洗硅片,再用该清洗液浸泡清洗。本发明不仅可以有效的去除硅片表面的有机、无机污染,而且可以去除附着在硅片表面的金属、非金属颗粒,从而提高了太阳能电池片的优质率与效率。本发明的清洗液配方简单,清洗效果好,且清洗方法简单,清洗时间短,清洗需要的温度不高。
申请公布号 CN102888300A 申请公布日期 2013.01.23
申请号 CN201210372257.0 申请日期 2012.09.29
申请人 湖南红太阳光电科技有限公司 发明人 周子游;刘贤金
分类号 C11D7/60(2006.01)I;C11D7/08(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 C11D7/60(2006.01)I
代理机构 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 代理人 马强
主权项 一种太阳能电池硅片清洗液,其特征在于,由硝酸、氢氟酸、去离子水混合配制而成,使得清洗液中硝酸的质量百分浓度为40%~60%,氢氟酸的质量百分浓度为0.025%~0.08%,余量为去离子水。
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