| 发明名称 | 通过采用离子簇源沉积纳米粒子修改原子力显微镜探针 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于通过采用聚集源沉积纳米粒子形式的材料来覆盖原子力显微镜（AFM）探针的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN102893165A | 申请公布日期 | 2013.01.23 |
| 申请号 | CN201180023368.4 | 申请日期 | 2011.05.04 |
| 申请人 | 西班牙高等科研理事会 | 发明人 | E·L·罗曼加西亚;L·马丁内斯奥雷亚纳;M·迪亚斯拉戈斯;Y·胡特尔 |
| 分类号 | G01Q60/42(2006.01)I;B82Y15/00(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I | 主分类号 | G01Q60/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人 | 程伟;王锦阳 |
| 主权项 | 一种用于通过离子簇源技术利用用于以纳米粒子形式涂覆的材料来涂覆至少一个AFM探针的方法。 | ||
| 地址 | 西班牙马德里 | ||