| 发明名称 | 光波导管装置及光波导管装置的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种结构简单且能够调制在光波导管中进行导波的信号光的光波导管装置。其通过在SOI膜12上涂布光阻13来形成光阻罩幕14，然后蚀刻除去未被光阻罩幕14被覆的区域的SOI膜，来得到具有单晶硅芯的光波导管15。而且，在石英基板20的背面侧设置能够对上述的单晶硅芯照射1.1微米以下波长的光线的发光组件而作成光波导管装置。从发光组件30未照射光线时，在光波导管15中进行导波的光线是以原本的状态进行导波，但是若从发光组件30照射光线而在该照射区域16形成电子-空穴对时，由于在光波导管中进行导波的光线被该电子-空穴对吸收，所以通过有无从发光组件30来的光照射，能够进行切换光信号的ON/OFF。 | ||
| 申请公布号 | CN101285912B | 申请公布日期 | 2013.01.23 |
| 申请号 | CN200810090978.6 | 申请日期 | 2008.04.08 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 秋山昌次;久保田芳宏;伊藤厚雄;田中好一;飞坂优二;川合信 |
| 分类号 | G02B6/12(2006.01)I;G02B6/122(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;H01L21/265(2006.01)I | 主分类号 | G02B6/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 吴小瑛;刘春生 |
| 主权项 | 一种光波导管装置，其具备光波导管及发光组件；上述光波导管具有设置在石英基板的表面的单晶硅芯；而上述发光组件是设置在上述石英基板的背面侧，且能够对上述单晶硅芯照射1.1微米以下波长的光线。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||