光刻机物镜顶板的检测装置及调整方法

摘要

本发明涉及光刻机物镜顶板的检测装置及调整方法，该装置包括下板组件、上板组件、自准直望远镜和物镜顶板参考镜；所述自准直望远镜的出射光束入射到所述下板组件上，入射到所述下板组件的光束一部分直接被所述下板组件反射回所述自准直望远镜，其余部分则经所述下板组件反射后射入所述上板组件，射入所述上板组件的光束经所述上板组件多次反射后射到所述物镜顶板参考镜上，经所述物镜顶板参考镜反射后沿原光路返回所述自准直望远镜。本发明涉及光刻机物镜顶板的检测装置及调整方法通过检测所述自准直望远镜的出射光束与所述物镜顶板参考镜的反射光束的平行度，可调整物镜顶板的上表面在Rz方向上的位置，且调整精度高。

主权项

一种光刻机物镜顶板的检测装置，其特征在于，包括下板组件、上板组件、自准直望远镜和安装在物镜顶板上的物镜顶板参考镜；所述自准直望远镜的出射光束入射到所述下板组件上，入射到所述下板组件的光束经过所述下板组件中的分光棱镜一部分直接被所述下板组件反射回所述自准直望远镜，其余部分则经所述下板组件反射后射入所述上板组件，射入所述上板组件的光束经所述上板组件多次反射后射到所述物镜顶板参考镜上，经所述物镜顶板参考镜反射后沿原光路返回所述自准直望远镜。