基板检查设备与基板检查方法

摘要

当未通过再输入开关的操作设置再输入模式时，对要在其上安装零件的所有零件安装位置执行零件安装前的检查；当由再输入开关设置了再输入模式时，首先使辨识相机辨识零件安装位置并接着执行检查零件安装位置上是否安装了零件的零件存在性检查处理；并且，对其上未安装零件的零件安装位置执行零件安装前的检查处理。

主权项

一种基板检查设备，包括：辨识相机，其可相对于被定位的基板而移动；检查执行单元，其使所述辨识相机辨识所述基板上的零件安装位置，并执行零件安装前的检查处理，所述零件安装前的检查处理检查是否可以在所述零件安装位置上安装零件；以及再输入模式设置单元，将所述检查执行单元设置为再输入模式，其中，当未通过所述再输入模式设置单元的操作而设置所述再输入模式时，所述检查执行单元对要在其上安装零件的所有零件安装位置执行所述零件安装前的检查处理；当通过所述再输入模式设置单元的操作而设置了所述再输入模式时，首先使所述辨识相机辨识所述零件安装位置，然后执行检查在所述零件安装位置上是否安装了所述零件的零件存在性检查处理；并且，对其上未安装所述零件的零件安装位置执行所述零件安装前的检查处理。