| 发明名称 | 基于屈曲的低电压变形微驱动器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种基于屈曲的低电压大变形微驱动器，它属于微机械领域，主要解决现有微驱动器驱动电压过高、驱动位移过小、响应时间长的问题。该驱动器包括微梁(34)、固定机座(38)、驱动电路(33)，其中微梁(34)通过外构架(37)固定，该外构架的两端固定有上顶盖(40)和下底盖(39)；固定机座(38)的两端固定有上导向槽(31)和下导向槽(35)，用于限制微梁的左右运动；上导向槽(31)和下导向槽(35)分别与上顶盖(40)和下底盖(39)之间形成一对调节电极对(32，36)。本发明具有抗干扰性强、驱动电压小、驱动位移大、响应时间短的优点，可用于射频RF开关、光开关、微可编程光栅系统和空间载SBR指向可变相控阵天线。 | ||
| 申请公布号 | CN101895230B | 申请公布日期 | 2013.01.23 |
| 申请号 | CN201010210029.4 | 申请日期 | 2010.06.24 |
| 申请人 | 西安电子科技大学 | 发明人 | 田文超;李雪梅;杨银堂 |
| 分类号 | H02N2/00(2006.01)I | 主分类号 | H02N2/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人 | 王品华;朱红星 |
| 主权项 | 一种基于屈曲的低电压变形微驱动器，包括：微梁(34)、固定机座(38)、驱动电极(33)，其特征在于微梁(34)通过外构架(37)固定，该外构架的两端固定有上顶盖(40)和下底盖(39)；固定机座(38)的两端固定有上导向槽(31)和下导向槽(35)，用于限制微梁的左右运动；上导向槽(31)和下导向槽(35)分别与上顶盖(40)和下底盖(39)之间形成一对调节电极(32，36)。 | ||
| 地址 | 710071 陕西省西安市太白南路2号 | ||