发明名称 一种一体化真空镀膜机
摘要 本实用新型公开了一种一体化真空镀膜机,包括一侧设置有电气柜的真空腔体和设置在真空腔体另一侧的机架,还包括导轨,所述电气柜和所述真空腔体一体式连接;所述导轨设置在所述真空腔体的底部,所述电气柜通过所述导轨与所述机架滑动连接,所述电气柜通过所述导轨可横向移动;所述电气柜的侧面设有多个用于铺设电缆的通孔。本实用新型既保证了真空腔体的维护方便,又减少了占地面积,方便了安装调试,减少了安装调试的周期。
申请公布号 CN202688413U 申请公布日期 2013.01.23
申请号 CN201220277371.0 申请日期 2012.06.08
申请人 杭州大和热磁电子有限公司 发明人 陈军;刘黎明;关永卿;洪婧;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉
分类号 C23C14/00(2006.01)I 主分类号 C23C14/00(2006.01)I
代理机构 杭州天正专利事务所有限公司 33201 代理人 王兵;黄美娟
主权项 一种一体化真空镀膜机,包括一侧设置有电气柜的真空腔体和设置在真空腔体另一侧的机架,其特征在于:还包括导轨,所述电气柜和所述真空腔体一体式连接;所述导轨设置在所述真空腔体的底部,所述电气柜通过所述导轨与所述机架滑动连接,所述电气柜通过所述导轨可横向移动。
地址 310053 浙江省杭州市滨江区滨康路777号