特气管路及具有其的等离子体增强化学气相带电沉积设备

摘要

本实用新型提供了一种特气管路及具有其的等离子体增强化学气相带电沉积设备。该特气管路包括分气管，内部具有气体容纳腔，侧壁上设置有与气体容纳腔相通的特气孔；进气管，一端与分气管内部的气体容纳腔连通，另一端与气源连通；分气管的两端部分别具有一个开口，分气管还包括用于封堵开口的第一封堵件和第二封堵件，第一封堵件和第二封堵件可拆卸地连接在分气管上。本实用新型的特气管路的分气管的两端部设置两个开口，在特气管路工作时利用第一封堵件和第二封堵件将开口密封；当需要对特气管路进行维护时，通过其中一个开口向分气管的气体容纳腔内充气以吹扫附着在分气管的内壁和特气孔的侧壁上的氮化硅粉末等杂质，取得较好的清理效果。

主权项

一种特气管路，包括：分气管(1)，内部具有气体容纳腔，侧壁上设置有与所述气体容纳腔相通的特气孔(13)；进气管(2)，一端与所述分气管(1)内部的气体容纳腔连通，另一端与气源连通；其特征在于，所述分气管(1)的两端部分别具有一个开口，所述分气管(1)还包括用于封堵所述开口的第一封堵件(11)和第二封堵件(12)，所述第一封堵件(11)和第二封堵件(12)可拆卸地连接在所述分气管(1)上。