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经营范围
发明名称
DUAL ANODE AC SUPPLY FOR CONTINUOUS DEPOSITION OF A CATHODE MATERIAL
摘要
申请公布号
EP1828429(B1)
申请公布日期
2013.01.23
申请号
EP20050854173
申请日期
2005.12.15
申请人
ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC.
发明人
SEYMOUR, ERIC;SCHOLL, RICHARD, A.
分类号
C23C14/35;H01J37/34
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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