校准坐标测量机数学模型以补偿变形导致动态误差的方法

摘要

本发明涉及校准坐标测量机数学模型以补偿变形导致动态误差的方法。一种校准数学模型以补偿由测量机的动态变形导致的误差的方法，该测量机配备有能够在测量空间内移动触针探头的移动单元，其中该模型响应于与所述驱动装置(13)的控制信号相关的至少一个输入量来提供多个输出量，所述输出量包括由变形引入的测量误差的至少一个分量以及至少一个由激光传感器检测到的并与变形相关的量。在校准步骤中，移动单元经受遵循正弦运动规律的、保持探头的末端被阻挡的、由可变频率的小幅值振荡构成的运动周期；在该运动周期期间，输入量和输出量被采样，并被提供给用于模型辨识的算法。

主权项

一种校准测量机的数学模型以补偿由动态变形引起的误差的方法，所述测量机包括：用于在测量空间内移动触针探头(3)的移动单元(7)，所述移动单元(7)包括在驱动装置(13)的驱动力下能够沿轴线移动的至少一个构件(8；12；42；56)，所述探头包括配备有末端(32)的触针(31)；以及传感器，所述传感器构造成实时检测与动态变形相关的至少一个量(mx，my)；其中，所述模型响应于与所述驱动装置(13)的控制信号相关的至少一个输入量来提供多个输出量，所述输出量包括由所述变形引入的测量误差的至少一个分量以及至少由所述传感器检测到的所述量，该校准方法包括以下步骤：控制所述移动单元(7)以执行能够产生动态变形的运动周期；在运动周期期间采集所述输入量和所述输出量的多个采样值；存储所述采样值；以及将所述采样值提供给辨识算法以定义所述模型；所述方法的特征在于，在保持所述探头(3)的所述触针(31)的末端(32)固定的情况下，以如下运动规律执行所述运动周期，所述运动规律为其幅值小于所述触针的所述末端相对于所述探头(3)的保持凸缘的移动范围，其频谱代表所述测量机的动态使用状况。