发明名称 导电凸块的柱设计
摘要 提供了导电柱的系统和方法。实施例包括:在其外部边缘周围具有沟槽的导电柱。当在导电柱上方形成导电凸块时,将沟槽用于引导导电材料,例如,焊料。然后,通过导电材料可以将导电柱电连接至另一接触件。本发明还提供了一种导电凸块的柱设计。
申请公布号 CN102891121A 申请公布日期 2013.01.23
申请号 CN201110400027.6 申请日期 2011.12.02
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 谢政杰;黄震麟;蔡柏豪;侯上勇;林俊成;郑心圃
分类号 H01L23/488(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I 主分类号 H01L23/488(2006.01)I
代理机构 北京德恒律师事务所 11306 代理人 陆鑫;房岭梅
主权项 一种半导体器件,包括:第一衬底;以及导电柱,向远离所述第一衬底的方向延伸,所述导电柱包括:垂直于所述第一衬底的一个或多个沟槽。
地址 中国台湾新竹