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发明名称 TRANSFER CHAMBER FOR VACUUM PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100682209(B1) 申请公布日期 2007.02.12
申请号 KR20047020838 申请日期 2003.06.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;C23C14/56;C23C16/54;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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