磊晶矽晶圆之制造方法与基板洗净装置

摘要

【课题】提供可使去疵能力提高，且即使在基板表面上;形成磊晶层也可防止层积缺陷产生之磊晶矽晶圆之制造方法。;【解决手段】在藉由CZ法(捷克拉斯基法)来制造，掺;杂氮后拉起之矽单晶切出而得到的基板上，形成磊晶层之磊晶矽晶圆之制造方法，系包括：在基板表面上以基板洗净装置1之曝气槽11来喷射汽化的氟酸，来将该基板W表面洗净之氟酸洗净制程；以及在洗净后之基板W的表面上形成磊晶层之磊晶层形成制程。