器件制造方法、电脑可读取媒体及微影装置

摘要

本发明揭示在一使用一微影装置之器件制造方法中，在场内及/或在场间应用对剂量之校正，以补偿归因于对该微影装置之投影系统之元件之预测加热的CD变化。