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发明名称
电容式压力感测器装置及其制造方法
摘要
本发明揭露一种电容式压力感测器装置及其制造方法。其中电容式压力感测器装置包括覆盖体、复数个第一金属电极、基底以及复数个第二金属电极。覆盖体具有上层与复数个侧壁。复数个第一金属电极设置于覆盖体的上层的内侧。基底连接覆盖体的复数个侧壁,形成一容置空间。复数个第二金属电极设置于基底,复数个第一金属电极与该复数个第二金属电极位于容置空间。覆盖体、复数个第一金属电极以及基底的材质为高分子可挠性材料。
申请公布号
TWI383130
申请公布日期
2013.01.21
申请号
TW098123562
申请日期
2009.07.13
申请人
国立台湾大学 台北市大安区罗斯福路4段1号
发明人
杨燿州;郑茗元;黄信华
分类号
G01L9/12;B81B7/02
主分类号
G01L9/12
代理机构
代理人
黄孝惇 台北市松山区民权东路3段140巷9号2楼之5
主权项
地址
台北市大安区罗斯福路4段1号
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