具有气泡阻断环之清洗蚀刻机台

摘要

本发明提供一种具有气泡阻断环之清洗蚀刻机台，为使转盘能旋转，在转盘与蚀刻机台座之间具有缝隙，蚀刻之化学气体即有通路进入马达室。为防止腐蚀性化学气体腐蚀马达及其他机件，本发明在化学气体通路上设置气泡阻断环，由氮气及纯水形成气泡，形成一道化学气体阻断环，使腐蚀性化学气体不能进入马达室而防止腐蚀，增加蚀刻机台之使用寿命。