发明名称 |
鳍式场效电晶体装置的制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种鳍式场效电晶体装置的制造方法,包括下列步骤:提供一基底,其包含一第一鳍及一第二鳍;形成一第一材料层于该第一鳍上,其中该第一材料层包含一第一种类之杂质;提供一第二种类之杂质于该第二鳍上;以及对该基底进行一高温制程,该基底包含该第一材料层及该第二种类之杂质。 |
申请公布号 |
TWI383498 |
申请公布日期 |
2013.01.21 |
申请号 |
TW096137667 |
申请日期 |
2007.10.08 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |
发明人 |
张正宏;余振华;叶震南;傅竹韵;许育荣;陈鼎元 |
分类号 |
H01L29/772;H01L21/336 |
主分类号 |
H01L29/772 |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
主权项 |
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地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |