微细加工处理剂、及使用其之微细加工处理方法

摘要

本发明之微细加工处理剂，系使用于含钨膜及氧化矽膜之层合膜的微细加工之微细加工处理剂；其特征为含有氟化氢、硝酸、与氟化铵以及氯化铵之至少任一方。藉此可提供，能进行相对于钨膜及氧化矽膜之层合膜，控制蚀刻速度之微细加工处理的微细加工处理剂，及使用其之微细加工处理方法。