蚀刻机台电极结构及其制作方法

摘要

一种蚀刻机台电极结构包含有一电极基板具有复数个气孔，以及复数个陶瓷通气环分别安装于气孔之中。电极基板之上，更可形成一表面处理层、一陶瓷层以及一金属钨层，以保护此电极基板。此外，一种蚀刻机台电极制作方法亦在此揭露。