发明名称 |
感放射线性树脂组成物及层间绝缘膜与微透镜之形成方法 |
摘要 |
本发明系有关一种含有不饱和羧酸及/或不饱和羧酸酐、氧杂环丁烷化合物及具有如四氢呋喃构造之具醚键构造之化合物的共聚物与1,2-醌二叠氮化合物,于形成微透镜及层间绝缘膜时所使用的感放射线性树脂组成物。 |
申请公布号 |
TWI383255 |
申请公布日期 |
2013.01.21 |
申请号 |
TW095136720 |
申请日期 |
2006.10.03 |
申请人 |
JSR股份有限公司 日本 |
发明人 |
米田英司;滨田谦一;志保浩司 |
分类号 |
G03F7/027;G03F7/008;G03F7/004;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/027 |
代理机构 |
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代理人 |
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼 |
主权项 |
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地址 |
日本 |