形成抗反射膜用组成物，层合物与光阻图型之形成方法

摘要

本发明系提供具有优异涂布性，可显着抑制微细气泡的发生，而且所形成之抗反射膜可充分减低驻波效果，且相对于水及硷显影液之溶解性优异之形成抗反射膜用组成物。;形成抗反射膜用组成物系含有，(A)2－(甲基)丙烯醯胺－2－甲基丙烷磺酸等所代表之含磺酸基丙烯醯胺衍生物与2,2,3,3,3－五氟丙基(甲基)丙烯酸酯等所代表之含氟烷基丙烯酸酯衍生物之共聚物(盐)，以及(B)在25℃及浓度0.1重量%之水溶液中表面张力为45mN/m以下之界面活性剂。