| 摘要 |
[课题]即使在短时间内以高作业效率进行热遮蔽体的边;缘位置的位置量测处理，仍可精度良好且没有变动地量测边缘位置。;[解决手段]以第1扫瞄间隔△θ1进行距离测定，同时进;行第1判断处理，结果，在可判断为边缘位置的量测距离d被判断为变化时，此次使光扫瞄位置θ沿着扫瞄方向A之反方向B(或者沿着扫瞄方向B之反方向A)返回预定量ψ，从返回的光扫瞄位置θrs起再度扫瞄雷射光101，并以比第1扫瞄间隔△θ1短的第2扫瞄间隔△θ2进行距离量测，同时进行第2判断处理，结果，在判断出可判断为边缘位置的量测距离d变化时，最终地判定在其变化被判断之时点的光扫瞄位置θc，雷射光101被热遮蔽体8的框边8a的边缘8e反射。 |
