除尘装置及除尘系统

摘要

一种除尘装置，其系在除尘头之殻内之加压空气流入口，装着内装HEPA滤器之滤箱，以形成组件化。藉此，藉由使用在无尘室内之除尘装置及存在其配管内之异物之安装后的喷出，以缩短去除的时间。