| 发明名称 |
STRUCTURE GETTER A CAPACITE DE POMPAGE OPTIMISEE |
| 摘要 |
<p>Structure getter (100) comportant au moins une pluralité de portions de matériau getter (103) disposées sur un support (102), chaque portion de matériau getter comprenant au moins deux parties (104, 106, 108, 110) d'épaisseurs différentes et dont les densités surfaciques de grains sont différentes.</p> |
| 申请公布号 |
FR2977883(A1) |
申请公布日期 |
2013.01.18 |
| 申请号 |
FR20110056302 |
申请日期 |
2011.07.11 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES |
发明人 |
FERRANDON CHRISTINE;BAILLIN XAVIER |
| 分类号 |
B81B7/00;B81C1/00;H01L23/26 |
主分类号 |
B81B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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