Substrat aus einem polymeren Werkstoff und mit einer wasser- und sauerstoff- undurchlässigen Barrierebeschichtung sowie dazugehöriges Herstellungsverfahren

摘要

Substrat aus einem polymeren Werkstoff und mit einer H2O- und O2-undurchlässigen Barrierebeschichtung dadurch gekennzeichnet, dass die Barrierebeschichtung aus einer alternierenden Abfolge C- und Si-haltiger Schichten (12, 14) besteht, wobei die C-haltige Schicht (14) eine a-C:H-Schicht und die Si-ht und wobei die an das Substrat angrenzende Schicht eine SiNx- oder SiC-Schicht ist.