| 发明名称 |
Ethers monomères ayant une structure à cycles multiples, et polymère photosensible et compositions de résists obtenus à partir de ces monomères. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH696810(A5) |
申请公布日期 |
2007.12.14 |
| 申请号 |
CH20020000711 |
申请日期 |
2002.04.24 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
KIM HYUN-WOO;WOO SANG-GYUN |
| 分类号 |
C07D315/00;C07D311/78;C08F34/02;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027 |
主分类号 |
C07D315/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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