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发明名称 Plasmaverarbeitungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE112010000869(T8) 申请公布日期 2013.01.17
申请号 DE201011000869T 申请日期 2010.01.08
申请人 ULVAC, INC. 发明人 WAKAMATSU, SADATSUGU;JIMBO, YOSUKE;KAMESAKI, KOJI;KIKUCHI, MASASHI;UCHIDA, HIROTO;ETO, KENJI;ASARI, SHIN
分类号 H01L21/205;C23C16/455;C23C16/505;H01L31/04 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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