陶瓷构件、探针固持具及陶瓷构件之制造方法

摘要

本发明系提供一种具有接近于矽的热膨胀系数且具有良好的加工性之陶瓷构件，使用此陶瓷构件所形成之探针固持具，以及陶瓷构件之制造方法。为了达成此目的，至少将云母及二氧化矽予以混合，将定向为单方向之外力作用于所混合的混合物，并将上述混合物予以烧结。若混合物之云母的体积含有率为70至90体积％，且二氧化矽的体积含有率为10至30体积％，则更为理想。