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发明名称 LIQUID IMMERSION MEMBER AND EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20130006656(A) 申请公布日期 2013.01.17
申请号 KR20127026513 申请日期 2011.03.14
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 SATO SHINJI
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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