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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR FORMING SILICON DOTS
摘要
申请公布号 KR100814454(B1) 申请公布日期 2008.03.17
申请号 KR20067019607 申请日期 2006.09.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/203;C23C14/14;C23C16/24;H01L21/205 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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