Teilungsträger für eine Positionsmesseinrichtung und Verfahren zur Herstellung des Teilungsträgers

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf einen Teilungsträger für eine Positionsmesseinrichtung, mit einem zumindest teilweise aus einem elektrisch isolierenden Material bestehenden Trägerkörper (1), auf dessen erster Oberfläche (10a) eine Messteilung (15) vorgesehen ist, und mit einem metallischen Substrat (3), an dem der Trägerkörper (1) mit einer der ersten Oberfläche (10a) gegenüber liegenden zweiten Oberfläche (10b) anliegt und mit dem der Trägerkörper (1) fest verbunden ist. Dabei erstreckt sich an einer dem Trägerkörper (1) abgewandten Oberfläche (32) des Substrats (3) ein Ergänzungskörper (2) parallel zu dem Trägerkörper (1), der um die Dicke (D) des Substrates (3) von dem Trägerkörper (1) beabstandet ist und der fest mit dem Substrat (3) verbunden ist.