传热构造体及基板处理装置

摘要

提供可以将基板之蚀刻处理中之消耗零件之温度维持在225℃以下之传热构造体。其解决手段为基板处理装置10腔室11,在该腔室11内配置具有冷煤室25之感应器12,在感应器12之上部配置由上部圆板状构件及下部圆板状构件所构成之静电夹具22,在上述圆板构件上载置晶圆W,在下部圆板状构件之上以包围晶圆W之方式配置聚焦环24,在静电夹具22及聚焦环24之间配置由凝胶状物质所构成之热传导薄片39,上述热传导薄片39中之以ASKER-C所表示之硬度对以W/mK所表示之热传导率的比设定成未满20。