收纳基板用之收纳容器

摘要

提供一种可减低风扇过滤单元之运作成本之基板收纳用之基板收纳设备。形成全体具有四角形断面之筒状之容器本体的1端侧开口构造成供基板每次1片出入之出入口,容器本体之另1端侧则装设由容器本体之另1端侧开口朝出入口通风之风扇过滤单元,开关容器本体之出入口之盖以于关闭状态时有一部分开口作为通气口之状态装设于容器本体之出入口。