Deflektometrische Anordnung zur Oberflächeninspektion

摘要

Die Erfindung betrifft eine deflektometrische Anordnung mit einer in einem Hell-Dunkel-Muster leuchtenden ebenen Musterfläche 1, die eine ebene Oberfläche 3 eines von einer Aufnahme 5 gehaltenen Objektes schräg beleuchtet sowie einer Kamera 2 zur Abbildung eines Reflexbildes umfassend ein Objektiv 2.1. Das Objektiv 2.1 und der Matrixempfänger 2.2 sind so angeordnet sind, dass der Matrixempfänger 2.2 und damit die Bildebene BE in einer zur ebenen Oberfläche 3 konjugierten Ebene angeordnet ist, womit die Objektebene OE der Kamera 2 auf der Oberfläche 3 liegt.