Vorrichtung zur planaren Positionierung von Werkstücken

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur planaren Positionierung von Werkstücken, umfassend einen Antrieb mit einer Planarmotorplatte für eine Ausrichtung in einem orthogonalen XY-Koordinatensystem und eine Auflichtsensoreinheit mit einem Sensor und einem mit der Planarmotorplatte verbundenen Linien-Kreuzraster zur Positionsbetimmung. Erfindungsgemäß ist der Sensor auf einem Rotor einer Dreheinheit gelagert und es bildet die Dreheinheit eine raumfest verankerte statorgestellfeste Sensordreheinheit, wobei das Linien-Kreuzraster in einem festen Abstand gegenüber dem Sensor angeordnet ist.