基板洗净装置、基板洗净方法、程式、以及记录媒体

摘要

提供一种：能在大幅抑制配线图案之损伤的同时，而以高除去效率来将粒子从被处理基板上除去之基板洗净方法。基板洗净方法，系在将被处理基板W浸渍于洗净液中的同时，在洗净液中使超音波产生，而将附着在被处理基板上之粒子（脏污等）除去的方法。基板洗净方法，系具备有：在洗净槽12内将被处理基板浸渍于洗净液中之工程，和在前述洗净槽内之洗净液中使超音波产生之工程。在前述使超音波产生之工程中，易于溶解于洗净液中之气体和难以溶解于洗净液中之气体，系被溶解于前述洗净槽内之前述洗净液中。