Erfassungsvorrichtung für eine physikalische Größe und Inspektionsverfahren für eine Erfassungsvorrichtung für eine physikalische Größe

摘要

Eine Erfassungsvorrichtung (1) für eine physikalische Größe beinhaltet einen Signalausgabeabschnitt (11), einen Korrekturwertberechnungsabschnitt (16) und einen Verarbeitungsabschnitt (12). Der Signalausgabeabschnitt (11) gibt Signale gemäß einer Änderung einer physikalischen Größe eines erfassten Objekts (30) aus. Der Korrekturwertberechnungsabschnitt (16) berechnet einen Korrekturwert. Der Verarbeitungsabschnitt (12) korrigiert Werte basierend bschnitts (11) mit dem Korrekturwert, berechnet physikalische Größen des erfassten Objekts (30) basierend auf den korrigierten Werten und gibt berechnete physikalische Größen aus. Der Korrekturwertberechnungsabschnitt (16) berechnet den Korrekturwert basierend auf primären Fehlerbeträgen, die Differenzen zwischen tatsächlichen Ausgabewerten nach einer Interpolation, die durch Ausführen einer linearen Funktionsinterpolationsverarbeitung auf die Werte basierend auf den tatsächlichen Ausgabewerten innerhalb eines vorbestimmten physikalischen Größenbereichs berechnet werden, und den Werten basierend auf den tatsächlichen Ausgabewerten entsprechend den tatsächlichen Ausgabewerten nach einer Interpolation sind.