发明名称 一种激光烧结制备晶体硅电池背电极的方法
摘要 本发明公开了一种激光烧结制备晶体硅电池背电极的方法,主要包括镀铝膜及激光烧结背电场,其中所述镀铝膜可采用溅射镀膜或者蒸发镀膜,其膜厚控制在0.5-2.0μ,激光烧结采用连续式固体激光器,在真空环境下进行,用以形成背电场。在进行激光烧结时,使基片具有0-500℃的本底温度。这种免接触式制备晶体硅电池背电极的方法,降低了碎片率,减少了电极材料的浪费,同时也容易形成自动化生产线,利于规模生产。
申请公布号 CN102881572A 申请公布日期 2013.01.16
申请号 CN201110202723.6 申请日期 2011.07.11
申请人 刘莹 发明人 刘莹
分类号 H01L21/268(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L21/268(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种激光烧结制备晶体硅电池背电极的方法,主要包括镀铝膜及激光烧结工序,其特征在于:所述镀铝膜为真空镀膜,用以形成与晶体硅表面附着力良好的铝电极;所述激光烧结为在真空条件下,用激光对附着铝电极的晶硅面进行烧结,以形成背表面电场;所述晶体硅在激光烧结时具有本底温度,以加快烧结过程;
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