发明名称 |
玻璃夹具 |
摘要 |
一种玻璃夹具,它涉及太阳能电池硅基薄膜沉积设备。它包括有框架、盖板、挡板、进气孔、排气孔,所述的框架背面安装有盖板,顶部有一排排气孔,底部有一排进气孔,盖板内侧上方焊接有一个挡板,进气孔孔间距均匀,排气孔孔间距由一端向另一端逐渐变小,在镀膜过程中,气体由进气孔进入夹具内,当气体遇到挡板时,因挡板的阻挡而得到缓冲,排气速度变慢,又因排气孔孔间距从一端向另一端逐渐变小,导致气体排出的速率也从一端向另一端逐渐变快,从而使夹具内的气体产生横向流动,这样气体在夹具内的停留时间变长,气体流动更合理,使各片玻璃镀膜更均匀。本实用新型气体停留时间长,流动效果好,镀膜均匀。 |
申请公布号 |
CN202671646U |
申请公布日期 |
2013.01.16 |
申请号 |
CN201220253854.7 |
申请日期 |
2012.05.25 |
申请人 |
合肥圣泰光电科技有限公司 |
发明人 |
怀忠庆;姚群 |
分类号 |
C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/50(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种玻璃夹具,其特征在于,它包括有框架(1)、盖板(2)、挡板(3)、进气孔(4)、排气孔(5);所述的框架(1)背面安装有盖板(2),顶部有一排排气孔(5),底部有一排进气孔(4),盖板(2)内侧上方焊接有一个挡板(3),进气孔(4)孔间距均匀,排气孔(5)孔间距由一端向另一端逐渐变小。 |
地址 |
安徽省长丰双凤经济开发区 |