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发明名称 METHOD AND ARRANGEMENT FOR TREATING AN OBJECT WITH A LOW-TEMPERATURE PLASMA
摘要
申请公布号 EP2545752(A1) 申请公布日期 2013.01.16
申请号 EP20110711766 申请日期 2011.03.10
申请人 MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V. 发明人 MORFILL, GREGOR;SHIMIZU, TETSUJI;ZIMMERMANN, JULIA;LI, YANG-FANG
分类号 H05H1/24;A61L2/14;B65B55/08 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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