电路结构

摘要

一种电路结构，包括：一基底以及一薄膜于所述基底上，且包括多个部分其分配如多个横列。所述多个部分的所述多个横列的每一个包括：多个凸面部分；以及多个凹面部分。在所述多个横列的每一个中，所述多个凸面部分与所述多个凹面部分分配于一间隔的图案中。本发明的优点包括减少在GaN膜与下方基底之间的晶格位差与减少由GaN膜产生的应力。

主权项

一种电路结构，包括：一基底；一薄膜于所述基底上，且包括多个部分，所述多个部分分配为多个横列，其中所述多个部分的所述多个横列的每一个包括：多个凸面部分；以及多个凹面部分，其中在所述多个横列的每一个中，所述多个凸面部分与所述多个凹面部分分配于一间隔的图案中；一介电层掩模，将所述薄膜的所述多个部分彼此互相分离；外延结构于所述基底的上表面上，其中所述多个凸面部分直接于所述外延结构上；以及开口从所述基底的所述上表面延伸进入所述基底，其中所述多个凹面部分于所述开口中。