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发明名称 Spherical aberration corrector and method of spherical aberration correction
摘要
申请公布号 EP2388795(A3) 申请公布日期 2013.01.16
申请号 EP20110166606 申请日期 2011.05.18
申请人 JEOL LTD. 发明人 SAWADDA, HIDETAKA
分类号 H01J37/153 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
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